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horiba高精度氣體質量流量計Z552/Z562MGX

  • 產(chǎn)品型號:
  • 更新日期:2025-03-02

簡要描述:horiba高精度氣體質量流量計Z552/Z562MGX

小量程0-100SLM,大量程0-500SLM
高精度:2.0% S.P. (50-100% F.S.); 1% F.S. (≤50% F.S.)
模擬信號輸出:0-5VDC,可選數(shù)字通訊RS485 F-Net協(xié)議

產(chǎn)品詳情

horiba氣體質量流量計SEC-Z552MGX/Z562MGX

高精度,量程0-200SLM、0-500SLM

horiba高精度氣體質量流量計Z552/Z562MGX屬于大流量質量流量控制器,又稱氣體質量流量控制器,簡稱MFC。

SEC-Z552的量程有0-300SLM,

SEC-Z562的量程時0-500SLM。


氣體質量流量控制器的功能:控制管路中的流量達到期望的設定值,同時反饋實際的流量信號到上位機。


horiba高精度氣體質量流量計Z552MGX/Z562MGX是一款高穩(wěn)定性、高精度的MFC,用于進口設備的PEVCVD、MOCVD中。


公司提供進口SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGX、SEC-Z532MGX、SEC-Z542MGX等,


產(chǎn)品參數(shù)

horiba高精度氣體質量流量計Z552/Z562MGX





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